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因此,這些材料不會(huì)出現(xiàn)津析、排氣或萃取問(wèn)題,由于聚對(duì)二甲苯能氣相沉積,它可涂覆于極細(xì)微的空間和空隙,由于其分子級(jí)聚合作用,即一次一個(gè)分子附著于沉積表面,聚對(duì)二甲苯涂層超薄,不會(huì)形成氣孔,并能敷形涂覆在元件上。聚對(duì)二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求,任何用來(lái)保護(hù)微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對(duì)二甲苯不會(huì)顯著增加質(zhì)量,這對(duì)微型植入裝置來(lái)說(shuō)是非常重要的優(yōu)勢(shì)。
在MEMS應(yīng)用中,聚對(duì)苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括:非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對(duì)二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護(hù)層、保護(hù)層和密封層是十分理想的。聚對(duì)二甲苯已用來(lái)做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器,壓力傳感器,麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來(lái)調(diào)控聚對(duì)二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測(cè)聚對(duì)二甲苯厚度的器與末端探測(cè)器已經(jīng)研制出來(lái)。
聚對(duì)二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性,無(wú)微孔無(wú)缺陷,化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。
聚對(duì)二甲苯是一種具有性能的敷形涂層材料,問(wèn)世后在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C允許作為印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為0.0005-0.002英寸。
作為電子電路的防護(hù)涂層,Parylene不需另加防霉劑,本身防霉能達(dá)零級(jí)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中,與其它涂層相比,Parylene防護(hù)的電路電阻幾乎不下降,其它涂層則都有較大的下降。很薄的Parylene涂層能提供的防護(hù)性能,還有利于電路板工作熱量的消散,因此作為防護(hù)涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性,特別是小型高密集度電子電路的防護(hù),聚對(duì)二甲苯更顯示出其到的優(yōu)勢(shì)。
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